اندازهگیری ضخامت و زبری لایههای نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی
نویسندگان
چکیده مقاله:
In the standard optical interference fringes approach, by measuring shift of the interference fringes due to step edge of thin film on substrate, thickness of the layer has already been measured. In order to improve the measurement precision of this popular method, the interference fringes intensity curve was extracted and analyzed before and after the step preparation. By this method, one can measure a few nanometers films thickness. In addition, using the interference fringes intensity curve and its fluctuations, the roughness of surface is measured within a few nanometers accuracy. Comparison of our results with some direct methods of thickness and roughness measurements, i.e. using surface profilemeter and atomic force microscopy confirms the accuracy of the suggested improvements.
منابع مشابه
اندازه گیری ضخامت و زبری لایه های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی
بر اساس روش متعارف تداخل نوری، با اندازه گیری میزان جابه جایی فریزهای تداخلی، ضخامت لایه نازک به دست می آید. جهت افزایش دقت در سنجش ضخامت های کم و کاهش خطاهای اندازه گیری، نمودار شدت فریزها قبل و بعد از فرآیند ایجاد پله، رسم می شود. با اندازه گیری میزان جابه جایی فریزهای تداخلی، امکان اندازه گیری ضخامت لایه های نازک از مرتبه چند نانومتر فراهم می شود. همچنین با بهره گیری از جابه جایی نمودار شدت ...
متن کاملکاربرد معادله انتقال شدت در تحلیل فریزهای تداخلی
در این پایان نامه روشی برای بازسازی توزیع فاز دو موج تداخل کننده با استفاده از معادله انتقال شدت ارائه می شود. توزیع شدت تداخلی در دو صفحه ی عمود بر راستای انتشار متوسط دو موج ثبت می شود. با حل معادله انتقال شدت تداخلی، گرادیان فاز میدان تداخلی محاسبه می گردد. با بدست آوردن گرادیان اختلاف فاز در هر نقطه و توزیع گرادیان فاز میدان تداخلی، توزیع گرادیان فاز هر یک از امواج تعیین می شود. در نهایت ...
تصحیح تصویر حاصل از پروفایلومترها از سطوحی با زبری نانومتری
در این مقاله نشان میدهیم که فرآیندهای مارکوف نقشی اساسی در جاروب سطح زبر و مشخص کردن توپوگرافی آن سطح دارند. توپوگرافی سطح حاصل شده از یک پروفایلومتر مانند میکروسکوپ نیروی اتمی AFM (Atomic Force Microscope)، وابسته به برهمکنش سطح با سوزن پروب است. وقتی سایز سوزن پروب با تغییرات ارتفاع سطح قابل مقایسه باشد، تصویر سطح نسبت به سطح اصلی مقداری متفاوت خواهد داشت. اثر سوزن باعث بوجود آمدن یک تلاقی د...
متن کاملپراکندگی موج از سطوح فراکتالی با زبری نانومتری
در این مقاله اثر سه طول مشخصه طول موج پرتو تابیده شده به سطح (l)، زبری (s) و طول همبستگی سطح (x) برای سطوح با زبری نانومتری با استفاده از شدت موج پراکنده شده به کمک تئوری پراکندگی موج کیرشهف مطالعه شده است. در این مطالعه مشخص شد که مقیاس طول همبستگی نقش مهمی در نوع پراکندگی از سطوح زبر با زبری نانومتری بازی میکند. تاکنون در اغلب گزارشها برای پراکندگی موج از سطوح زبر از پارامتر بدون بعد ks است...
متن کاملزبری نانومتری بر سطح الیاف پلیاستر با استفاده از عملآوری فرابنفش-ازن
فرضیه: در سالهای اخیر روشهای جدیدی مانند پلاسما، پرتودهی فرابنفش و عملآوری با ازن برای اصلاح سطح پلیمرها بهکار گرفته شده است. اصلاح سطح الیاف پلیمری برای بهبود قابلیت رنگرزی و ایجاد خواص فیزیکی مطلوب مانند جذب رطوبت زیاد و الکتریسیته ساکن کم انجام میشود. در این مطالعه، برای اصلاح خواص سطحی الیاف پلیاستر و اکسایش سطحی آنها، روش ترکیبی جدید از راه عملآوری با فرابنفش-ازن ب...
متن کاملThe effect of cyclosporine on asymmetric antibodies and serum transforming growth factor beta1 in abortion-prone model of mice CBA/J x DBA/2
كچ ي هد فده و هقباس : ي ک ي طقس زورب للع زا اه ي ،ررکم ا لماوع تلاخد ي ژولونوم ي ک ا رد ي ن قم طققس عون ي وراد دقشاب ي س ي روپسولک ي ،ن ح لدم رد طقس شهاک بجوم ي ناو ي CBA/j×DBA/2 م ي تنآ ددرگ ي داب ي اه ي ان و راققتم TGF-β لماوع زا عت مهم يي ن گلماح تشونرس هدننک ي سررب روظنم هب رضاح هعلاطم تسا ي ات ث ي ر اس ي روپسولک ي ن م رب ي از ا ي ن تنآ عون ي داب ي س و اه ي اکوت ي ن TGF...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
عنوان ژورنال
دوره 11 شماره 1
صفحات 15- 25
تاریخ انتشار 2011-06
با دنبال کردن یک ژورنال هنگامی که شماره جدید این ژورنال منتشر می شود به شما از طریق ایمیل اطلاع داده می شود.
کلمات کلیدی برای این مقاله ارائه نشده است
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023